半導(dǎo)體設(shè)備是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造工藝的媒介工具，在各個(gè)環(huán)節(jié)均發(fā)揮重要作用。近年來(lái)，半導(dǎo)體行業(yè)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程進(jìn)一步提速，且半導(dǎo)體設(shè)備環(huán)節(jié)業(yè)績(jī)比整體行業(yè)更具彈性。半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化迎黃金浪潮，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備正迎來(lái)更充沛的驗(yàn)證試用、技術(shù)合作、進(jìn)口替代機(jī)遇。

一、半導(dǎo)體設(shè)備定義及產(chǎn)業(yè)鏈

半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備泛指用于生產(chǎn)各類(lèi)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設(shè)備，屬于半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的支撐環(huán)節(jié)。在整個(gè)芯片制造和封測(cè)過(guò)程中，會(huì)經(jīng)過(guò)上千道加工工序，細(xì)分又可以劃分出百種不同的機(jī)臺(tái)，占比較大市場(chǎng)份額的主要有：光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)、測(cè)試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)等。

半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈中，上游為零部件和系統(tǒng)軟件；中游為半導(dǎo)體設(shè)備，光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、涂膠顯影設(shè)備、氧化爐、CMP/CVD/PVD設(shè)備、質(zhì)檢及電學(xué)檢測(cè)設(shè)備等；下游為半導(dǎo)體產(chǎn)品，主要包括分立器件、光電子器件、傳感器和集成電路。

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二、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展政策

半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)和技術(shù)進(jìn)步的關(guān)鍵，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中占有重要地位。為推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展，增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力，我國(guó)近年來(lái)從戰(zhàn)略地位、人才、資金、技術(shù)、稅收、市場(chǎng)等各方面出臺(tái)了一系列支持性政策。

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三、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

1.市場(chǎng)規(guī)模

中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模增速明顯，從2017年的554.18億元增長(zhǎng)至2019年的905.70億元。2020年，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)亦保持快速增長(zhǎng)趨勢(shì)，銷(xiāo)售額為1260.62億元，同比增長(zhǎng)達(dá)39.2%，成為全球第一大半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)；2021年，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)連續(xù)增長(zhǎng)，銷(xiāo)售額為1993.35億元，同比增長(zhǎng)達(dá)58.1%，連續(xù)兩年成為全球第一大半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)。2022年中國(guó)半導(dǎo)體預(yù)計(jì)將繼續(xù)增長(zhǎng)，規(guī)模達(dá)到2745.15億元。

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2.市場(chǎng)結(jié)構(gòu)

從細(xì)分產(chǎn)品來(lái)看，光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備為半導(dǎo)體設(shè)備主要核心設(shè)備，分別占比24%、20%、20%。其次為測(cè)試設(shè)備和封裝設(shè)備，分別占比9%、6%。

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3.進(jìn)口情況

中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)整體國(guó)產(chǎn)化率的提升還處于起步階段，目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商所使用的半導(dǎo)體設(shè)備仍主要依賴(lài)進(jìn)口。根據(jù)中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)的統(tǒng)計(jì)，2021年半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口46894臺(tái)，合計(jì)進(jìn)口額1147.96億元，同比分別增長(zhǎng)84.3%和56.4%。

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4.國(guó)產(chǎn)化率情況

中國(guó)設(shè)備產(chǎn)業(yè)未來(lái)10年，第一步將迎接中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)設(shè)備投資需求成倍的增長(zhǎng)，同時(shí)目標(biāo)將國(guó)產(chǎn)化率從平均5%~10%，提升到70%~80%以上甚至更高；第二步中國(guó)設(shè)備技術(shù)能力與國(guó)際廠商同臺(tái)競(jìng)技之后，實(shí)現(xiàn)打開(kāi)國(guó)門(mén)走向世界。

只有在設(shè)備上擁有核心技術(shù)升級(jí)與迭代能力，才能真正實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造上實(shí)現(xiàn)超越，國(guó)產(chǎn)化率是當(dāng)務(wù)之急，也勢(shì)不可擋。

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四、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)重點(diǎn)企業(yè)

1.北方華創(chuàng)

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司主要從事半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和技術(shù)服務(wù)。主要產(chǎn)品為電子工藝裝備和電子元器件。北方華創(chuàng)是國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商龍頭企業(yè)，主營(yíng)氧化擴(kuò)散設(shè)備、刻蝕設(shè)備（干法刻蝕）、薄膜沉積工藝CVD和PVD、清洗設(shè)備等，幾乎涵蓋了半導(dǎo)體設(shè)備全領(lǐng)域。

2022年第一季度北方華創(chuàng)實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入21.36億元，同比增長(zhǎng)50.11%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)2.06億元，同比增長(zhǎng)182.19%。

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2021年北方華創(chuàng)營(yíng)收主要分為電子工藝裝備、電子元器件，其中電子工藝裝備營(yíng)收達(dá)79.49億元，占比82.1%；電子元器件營(yíng)收達(dá)17.15億元，占比17.7%。

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2.芯源微

沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司主要從事半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)），可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)）及6英寸及以下單晶圓處理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等環(huán)節(jié)）。

2022年第一季度芯源微實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入1.84億元，同比增長(zhǎng)62.83%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)0.32億元，同比增長(zhǎng)357.14%。

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2021年芯源微半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收達(dá)8.13億元，占比達(dá)98.1%。

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3.中微公司

中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司的主營(yíng)業(yè)務(wù)是半導(dǎo)體設(shè)備及泛半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。公司的主要產(chǎn)品有電容性等離子體刻蝕設(shè)備，電感性等離子體刻蝕設(shè)備，MOCVD設(shè)備，VOC設(shè)備。中微公司主營(yíng)刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備和MOCVD設(shè)備，其刻蝕設(shè)備以干法刻蝕為主，在CCP刻蝕領(lǐng)域具有較大優(yōu)勢(shì)。

2022年第一季度實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入達(dá)9.49億元，同比增長(zhǎng)57.38%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)1.17億元，同比下降15.22%。

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2021年中微公司全年?duì)I收均來(lái)自半導(dǎo)體設(shè)備，其中占比最多的是專(zhuān)用設(shè)備，達(dá)80.7%。備品備件占17.9%、設(shè)備維護(hù)占1.8%。

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4.華峰測(cè)控

北京華峰測(cè)控技術(shù)股份有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)為半導(dǎo)體自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)的研發(fā)，生產(chǎn)和銷(xiāo)售。公司的主要產(chǎn)品為半導(dǎo)體自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)及測(cè)試系統(tǒng)配件，主要功能是檢測(cè)晶圓樣品和芯片封裝樣品的功能和性能。

2022年第一季度實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入2.59億元，同比增長(zhǎng)123.28%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)1.22億元，同比增長(zhǎng)351.85%。

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2021年華峰測(cè)控半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收達(dá)8.77億元，占整體的99.9%。

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5.京運(yùn)通

北京京運(yùn)通科技股份有限公司是我國(guó)真空晶體生長(zhǎng)設(shè)備研發(fā)制造于一體的專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠家。公司主要產(chǎn)品包括單晶硅生長(zhǎng)爐、多晶硅鑄錠爐、單晶硅棒、多晶硅錠及單（多）晶硅片、新能源發(fā)電、無(wú)毒環(huán)保脫硝催化劑等。

2022年京運(yùn)通實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入19.37億元，同比增長(zhǎng)76.73%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)0.09億元，同比下降95.85%。

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2021年京運(yùn)通半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收達(dá)0.22億元，同比下降96.4%。

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五、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景

1.半導(dǎo)體應(yīng)用和消費(fèi)市場(chǎng)需求穩(wěn)定增長(zhǎng)

物聯(lián)網(wǎng)、5G通信、汽車(chē)電子等新型應(yīng)用市場(chǎng)的不斷發(fā)展產(chǎn)生了巨大的半導(dǎo)體產(chǎn)品需求，推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入新一輪的發(fā)展周期。全球范圍內(nèi)，晶圓廠產(chǎn)能擴(kuò)充仍在繼續(xù)，下游需求的不斷發(fā)展為半導(dǎo)體設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)的擴(kuò)張和升級(jí)提供了機(jī)遇。

2.半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重心轉(zhuǎn)移為本土設(shè)備廠商提供巨大機(jī)遇

憑借巨大的市場(chǎng)容量以及多年的發(fā)展，中國(guó)已成為全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)國(guó)和生產(chǎn)國(guó)。廣闊的下游市場(chǎng)和不斷完善的上下游產(chǎn)業(yè)鏈帶動(dòng)全球產(chǎn)能中心逐步向中國(guó)大陸轉(zhuǎn)移。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模的不斷擴(kuò)大將為國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商帶來(lái)巨大發(fā)展機(jī)遇，國(guó)產(chǎn)設(shè)備將加速導(dǎo)入大陸晶圓廠，因此國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備將迎來(lái)快速發(fā)展期。

3.國(guó)家政策大力支持設(shè)備國(guó)產(chǎn)化提升

集成電路產(chǎn)業(yè)作為國(guó)民經(jīng)濟(jì)中基礎(chǔ)性、關(guān)鍵性和戰(zhàn)略性的產(chǎn)業(yè)。十四五”規(guī)劃強(qiáng)調(diào)了發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)對(duì)強(qiáng)化國(guó)家戰(zhàn)略科技力量的意義。半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)作為整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要支撐，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化過(guò)程中的核心環(huán)節(jié)。目前國(guó)外龍頭企業(yè)的產(chǎn)品仍占據(jù)全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的大部分份額，但在部分細(xì)分領(lǐng)域本土企業(yè)已實(shí)現(xiàn)突破，未來(lái)國(guó)產(chǎn)化空間巨大。

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